流量单位：
SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分钟标准升(L/min)
SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分钟标准毫升(ml/min)
ccm: Cubic centimeter per minutes------------cm3/min
表示每分钟1 cc的流动作为一个单位（ cm3)是一个单位的流量流动
因为气体随着温度，压力的变化体积也会变化，用质量流量表示更正确，表示气体流量的时候，标准条件（压力，温度）确定了后，并以此标准来确定气体的体积时候，前面加上了S(Standard),就变成了sccm
CCM : Cubic centimeter per minutes -------㎤/minCCM : Cubic centimeter per minutes -------㎤/min
SCCM: Standard Cubic centimeter per minutes -----㎤/min
CCM每分钟1cc的流动作为一个单位（cm 3）是一个单位的流量流动，
因为气体随着温度，压力的变化体积也会发生变化。
用质量流量表示更正确，表示气体流量的时候标准条件（温度压力）确定后，并以此标准来确定气体的体积时前面加上了S (STANDARD)
真空度单位：
1MPa=1000KPa
-0.1MPa=-100KPa=-1000mbar
(比如真空度：-841mbar=-84.1KPa=-0.0841MPa)
1KPa=1000Pa
1标准大气压（0.101325MPa=101.325KPa）=100KPa=0.1MPa（近似值，在要求不高的场合近似计算，用于粗略计算）
1标准大气压=1公斤(Kg/cm2)（近似值，用于粗略计算）=760mmHg
1标准大气压=14.5PSI（近似值，用于粗略计算）
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
1atm=101325Pa (atm表示一个标准大气压作为参考量)